Химия - Графеновые наноленты - Методы изготовления

28 февраля 2011


Оглавление:
1. Графеновые наноленты
2. Методы изготовления
3. Идеальные наноленты
4. Формирование запрещённой зоны



Основной способ подготовки графеновых образцов это механическое отшелушивание слоёв пиролитического графита с помощью липкой ленты и последующее осаждение на подложку высоколегированного кремния покрытого слоем диэлектрика. При использовании этого метода поиск графена осуществляется в оптическом микроскопе, а так как нанообъекты в этом случае рассмотреть нельзя, то сначала находят относительно большой образец. Его подвергают стандартной процедуре для использования электронной литографии, позволяющей добиться разрешения порядка 10 нм. Сначала закрывают подложку с осаждённым графеном электронным резистом и с помощью электронного пучка засвечивают резист, нанося необходимые размеры графеновых нанолент, а после удаления неэкспонированного резиста проводят плазменное травление. В работах использовали электронный резист HSQ.

Используя химический метод были созданы наноленты с шириной менее 10 нм. Для этого метода необходим термически расширенный графит. Этот метод не предполагает использование литографии и травления, поэтому границы нанолент получаются гладкими.

Существует ещё один метод не использующий литографию, поскольку маской здесь выступает тонкая кварцевая нить, что позволяет избежать возможных повреждений и загрязнений при литографии. Кроме того метод не временезатратный.



Просмотров: 4232


<<< Видимость графена
Графеновый полевой транзистор >>>