Химия - Иммерсионная литография - Преимущества иммерсионной литографии

01 марта 2011


Оглавление:
1. Иммерсионная литография
2. Преимущества иммерсионной литографии



В системах с воздушным зазором имеются ограничения увеличения разрешения. При помощи иммерсионной жидкости можно увеличить показатель преломления пространства между линзой и объектом, увеличив тем самым апертуру. Так, вода в системе, работающей на ультрафиолетовом свете с длиной волны 193 нм, имеет показатель 1.44.

Разрешение оборудование увеличивается на 30-40 %.



Просмотров: 2072


<<< Дрекслер, Эрик
Квантовая нанотехнология >>>