Химия - Индуктивно-связанная плазма - Преимущества
01 марта 2011Оглавление:
1. Индуктивно-связанная плазма
2. Преимущества
- Аналитическая ИСП характеризуется высокой концентрацией электронов порядка 10 см, а также высокой температурой, что позволяет практически полностью атомизировать любые анализируемые вещества.
- Высокая концентрация электронов и ионов в ИСП также является одним из её главных преимуществ при плазменном травлении, поскольку обеспечивает высокую скорость и качество травления.
- Обычно индукционная катушка находится вне камеры горения, поэтому она не взаимодействует с плазмой, не разрушается агрессивными компонентами плазмы и не загрязняет плазму продуктами этого воздействия. Другими словами, данный тип газового разряда является безэлектродным.
Применения
- в атомной эмиссионной спектрометрии
- в масс-спектрометрии: ИСП-МС,
- в плазменном травлении
Просмотров: 3061
|