Химия - Нитрид кремния - Использование
28 февраля 2011Оглавление:
1. Нитрид кремния
2. Обработка
3. Свойства кристаллических модификаций
4. Использование
5. История вещества
При создании деталей
Нитрид кремния в основном используется в структурах где нужна высокая прочность и устойчивость к высоким температурам.
Применяют для изготовления тиглей, элементов насосов, трубопроводов, сопел газовых горелок, блочных носителей катализаторов, обтекателей головных частей летательных аппаратов, радиопрозрачных окон, как абразивный и изоляционный материал. Используется, например, при создании деталей теплового тракта газотурбинных двигателей и самих газовых турбин, деталей двигателя автомобиля, подшипников, металлообработки, широко применяют в производстве керамики, режущего инструмента, производстве огнеупоров и т. д. Огнеупоры с нитридом кремния обладают высокой термостойкостью и прочностью. Тонкие пленки нитрида кремния чаще всего являются изолирующим слоем в кремниевой электронике; кантиливер из нитрида кремния является зондированной частью атомного силового микроскопа. Применяют как составную часть теплозащитных абляционных материалов, огнеупорных карбидокремниевых материалов, для термостойких огнеупорных материалов, для металлопроводников, устройств разливки и дозировки цветных металлов. Нитрид кремния часто используют как изолятор и химический барьер при производстве интегральных микросхем.
Синтез
Прямое азотирование:
Термоуглеродное азотирование:
Пропускание силана в аммиаке дает в результате нитрид кремния и водород:
Пропускание дихлорида-дигидрида кремния в аммиаке дает нитрид кремния, хлороводород и водород:
Химическое осаждение из парогазовой фазы:
Добавив к сульфиду кремния аммиак получим на выходе нитрид кремния, чистый водород и серу:
Добавив к хлориду кремния аммиак, пропуская в токе аргона, получим на выходе нитрид кремния и хлорид аммония:
Также можно получить, проделав всего две реакции:
Просмотров: 6614
|