Химия - Рулонная технология - Тонкоплёночные элементы

28 февраля 2011


Оглавление:
1. Рулонная технология
2. Тонкоплёночные элементы

Кремний

Одной из важнейших проблем рулонной технологии создания тонкопленочных элементов является скорость осаждения микрокристаллического слоя, которая решается с помощью одного из четырёх подходов:

• очень высокая частота плазмы в процессе усиленного плазмой химического осаждения паров
• ультракоротковолновый процесс.
• химическое осаждение паров с горячей нитью.
• использование ультразвуковых форсунок в производственном процессе.

Просмотров: 2464

<<< Пористый кремний