Химия - Тетраметиламмония гидроксид
01 марта 2011Оглавление:
1. Тетраметиламмония гидроксид
2. Анизотропный травитель
Гидроксид тетраметиламмония это четвертичное аммонийное соединение с молекулярной формулой4NOH. ОН используется как анизотропный травитель для кремния. Также используется как основной растворитель при производстве кислотного фоторезиста в процессе фотолитографии. Поскольку он является катализатором фазового перехода, он очень эффективен для удаления фоторезиста. Также используется как поверхностно-активное вещество при синтезе ферромагнитых жидкостей, чтобы препятствовать слипанию её частиц.
Токсичность
Раствор TMAH является сильным основанием. Ионы тетраметиламмония могут повреждать нервы и мышцы, приводя к затруднению дыхания и, возможно, смерти вскоре после контакта даже с небольшим количеством вещества. Чистый TMAH практически не имеет запаха, загрязненный триметиламином имеет запах мертвой рыбы.
Просмотров: 3955
|