Химия - Тонкие плёнки

01 марта 2011





Относительно недавно в связи с общим развитием экспериментальной техники и радиоэлектроники внимание физиков привлекли новые, ранее не исследованные объекты, которые получили название тонкие плёнки. Данные объекты представляют собой чрезвычайно тонкие плёнки, нанесённые на подложку, толщина которых измеряется сотнями нанометров. Нанесение может осуществляться различными методами, наиболее часто используемые в научных исследованиях методы:

  • CVD-процесс,
  • PVD-процессы, в том числе
    • вакуумное термическое распыление.

Оказалось, что объекты, имеющие столь малые размеры, кардинально меняют свои свойства. Например, у столь малых объектов меняется температура плавления, степень переохлаждения и межплоскостное расстояние по сравнению с массивными объектами.

Феномологическая термодинамика объясняет столь необычные свойства увеличением роли поверхности с уменьшением объекта, ведь при уменьшении размера тела его объём уменьшается пропорционально r3 , а площадь поверхности — r. Соответственно отношение V/S ведёт себя как 1/r.

Благодаря этому силы поверхностного натяжения, которые в массивных образцах не играют существенной роли, в нанообъектах становятся существенными. А поскольку силы поверхностного натяжения действуют в приповерхностном слое, их действие можно уподобить приложению внешнего давления, которое, как известно, может изменить как температуру плавления, так и межплоскостные расстояния.

С тонкими плёнками связаны такие явления, как технологии получения высокого вакуума, процессы и различные механизмы формирования пленок, многокомпонентные системы, технологические аспекты напыления, методы исследований, получения подложек и др. Исследование данных объектов имеет решающее значение для совершенствования микроэлектронных устройств и для науки в целом.



Просмотров: 1443


<<< Силицен
Углеродные нановолокна >>>