Химия - Верхний затвор (графен)

01 марта 2011





См. также «Физический портал»

Верхний затвор — затвор, который находится над образцом с противоположной от подложки стороны. Терминология сложилась на данный момент в технологии связанной с графеном для того, чтобы отличать от затвора, в качестве которого служит высоколегированая кремнивая подложка. Ситуация с названиями противоположна в графене и МОП-транзисторах, поскольку в последнем случае обычно отсутствует обратный затвор.

Графен находится на поверхности SiO2/Si, ничем не ограничен сверху, поэтому для создания верхнего затвора сначала наносят диэлектрический слой, а потом напыляют металл. В самой первой работе использовали в качестве диэлектрика SiO2. Выбор диэлектрика может влиять на подвижность носителей тока в графене благодаря зарядам или дефектам в его струкутуре. Среди других материалов использованных в качестве диэлектрика существуют: PMMA, Al2O3, HfO2.

В идеале можно обойтись без диэлектрика вообще и использовать подвешенный верхний затвор, который не влияет на подвижность.



Просмотров: 1571


<<< Видимость графена