Химия - Иммерсионная литография - Преимущества иммерсионной литографии

28 февраля 2011


Оглавление:
1. Иммерсионная литография
2. Преимущества иммерсионной литографии

В системах с воздушным зазором имеются ограничения увеличения разрешения. При помощи иммерсионной жидкости можно увеличить показатель преломления пространства между линзой и объектом, увеличив тем самым апертуру. Так, вода в системе, работающей на ультрафиолетовом свете с длиной волны 193 нм, имеет показатель 1.44.

Разрешение оборудование увеличивается на 30-40 %.

Просмотров: 2610

<<< Дрекслер, Эрик

Квантовая нанотехнология >>>