Химия - Лазерная абляция - Минусы метода

28 февраля 2011


Оглавление:
1. Лазерная абляция
2. Преимущества метода
3. Описание метода
4. Динамика плазмы
5. Технологически важные параметры ЛА
6. Минусы метода

Метод лазерной абляции имеет определённые трудности, связанные с получением плёнок веществ, слабо поглощающих или отражающих лазерное излучение в видимой и близкой ИК-области спектра. Существенным недостатком метода является низкий коэффициент использования материала мишени, поскольку его интенсивное испарение происходит из узкой зоны эрозии, определяемой размером фокального пятна, и вследствие этого небольшая площадь осаждения. Значение коэффициента полезного использования материала мишени при лазерном напылении составляет 1 — 2 % и менее. Образование кратера в зоне эрозии и его углубление изменяет пространственный угол разлёта вещества, вследствие чего ухудшается однородность пленок, как по толщине, так и по составу, а также выводит мишень из строя, что особенно характерно для высокочастотного напыления. Повышение однородности плёнок и увеличения срока службы мишени требует использования скоростной системы плоскопараллельного сканирования мишени, что позволяет избежать перекрытия соседних фокальных пятен, и вследствие этого локального перегрева мишени и образования на ней глубоких кратеров, что, однако существенно усложняет конструкцию внутрикамерного устройства и сам процесс напыления.

Просмотров: 6048

<<< Лазерно-искровая эмиссионная спектрометрия