Химия - Лазерная абляция - Преимущества метода

28 февраля 2011


Оглавление:
1. Лазерная абляция
2. Преимущества метода
3. Описание метода
4. Динамика плазмы
5. Технологически важные параметры ЛА
6. Минусы метода

Лазерная абляция применяется в разнообразных областях:

• пробоотбор для анализа вещества
• обработка деталей
• получение тонких пленок, в том числе новых материалов

Лазерное парофазное осаждение — это процесс быстрого плавления и испарения материала мишени в результате воздействия на него высокоэнергетического лазерного излучения, с последующим переносом в вакууме распыленного материала от мишени к подложке и его осаждения. К преимуществам метода относятся:
 — высокая скорость осаждения;
 — быстрый нагрев и охлаждение осаждаемого материала, обеспечивающее образование метастабильных фаз;
 — непосредственная связь энергетических параметров излучения с кинетикой роста слоя;
 — возможность конгруэнтного испарения многокомпонентных мишеней;
 — строгая дозировка подачи материала, в том числе многокомпонентного с высокой температурой испарения;
 — агрегация в кластеры разного размера, заряда и кинетической энергии, позволяющая проводить селекцию с помощью электрического поля для получения определённой структуры, осаждаемой плёнки.

Просмотров: 6049

<<< Лазерно-искровая эмиссионная спектрометрия