Химия - Масс-спектрометрия вторичных ионов
01 марта 2011Оглавление:
1. Масс-спектрометрия вторичных ионов
2. Вакуум
3. Динамический режим
Масс-спектрометрия вторичных ионов — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.
Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок. МСВИ — самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард.
Сущность метода
Проба облучается сфокусированным пучком первичных ионов с энергией от 100 эВ до нескольких кэВ. Образующийся в результате пучок вторичных ионов анализируется с помощью масс-спектрометра для определения элементного, изотопного или молекулярного состава поверхности.
Выход вторичных ионов составляет 0,1-0,01 %.
Просмотров: 2977
|
|