Химия - Метод Чохральского - Сравнение с другими методами

01 марта 2011


Оглавление:
1. Метод Чохральского
2. История
3. Характеристики метода
4. Этапы метода
5. Модификации метода
6. Сравнение с другими методами

Кристаллы некоторых материалов, производимых с помощью метода Чохральского, не могут быть получены методом бестигельной зонной плавки, и наоборот. Некоторые материалы могут быть получены обоими способами.

В случае кремния слиток, полученный методом зонной плавки, по чистоте обычно существенно превосходит аналогичный, полученный методом Чохральского, но кристаллы, получаемые зонной плавкой, имеют меньшие диаметры, более высокую себестоимость в изготовлении, другое распределение и содержание легирующих и иных примесей, существенных для последующих технологических циклов.

Просмотров: 8253

<<< Литография

Модель Дила-Гроува >>>