Химия - Модель Дила-Гроува

01 марта 2011


Оглавление:
1. Модель Дила-Гроува
2. Следствия
3. Применение к кремнию

Модель Дила-Гроува описывает рост оксидных слоёв на поверхности различных материалов. В частности, она используется для анализа термического окисления кремния при производстве полупроводниковых приборов.

Физические основы

В рамках данной модели принимается, что реакция окисления протекает на границе между окислом и подложкой быстрее, нежели на границе окисла с внешней средой. Рассматриваются три этапа, проходимых частицами кислорода при окислении:

1. Доставка кислорода к поверхности.
2. Его диффузия через слой уже сформировавшегося окисла к границе с подложкой.
3. Химическая реакция с материалом подложки.

Принимается, что каждая из стадий протекает со скоростью, пропорциональной концентрации окислителя. На первом этапе действует Закон Генри, на втором - закон Фика для диффузии, скорость на третьем этапе определяется скоростью химической реакции кинетики первого порядка по кислороду. Также подразумевается, что система находится в установившемся состоянии, т.е. переходный процесс не учитывается.

Просмотров: 4448

<<< Метод Чохральского

Планарная технология >>>