Химия - Модель Дила-Гроува - Применение к кремнию

01 марта 2011


Оглавление:
1. Модель Дила-Гроува
2. Следствия
3. Применение к кремнию



Модель Дила-Гроува хорошо показала себя в применении в монокристаллическому кремнию. Однако, экспериментальные данные показывают расхождение с модельными зависимостями в случае очень тонких слоёв, на начальных стадиях окисления. В этом случае рост происходит быстрее, нежели это предсказывает модель. Данный эффект до сих пор не имеет общепринятого теоретического объяснения, однако существует ряд модификаций модели, позволяющих учесть его.

Также модель Дила-Гроува не применима к поликремнию. Во-первых, случайная ориентация граней кристалла делает сложным выбор значения константы линейного участка реакции. Во вторых в этом случае возникает дополнительный физический эффект, заключающийся в диффузии кислорода вдоль границ зёрен. В результате поликремний окисляется быстрее монокристаллического. По схожим причинам модель Дила-Гроува непригодной и для анализа окисления нанообъектов.

Деформации и дефекты кристаллической решетки также могут влиять на скорость окисления, однако на практике этим эффектом часто пренебрегают, однако в случае сильно легированного кремния, окисляющегося значительно быстрее, не учитывать его нельзя. Давления окружающего газа также влияет на скорость окисления.



Просмотров: 4652


<<< Метод Чохральского
Планарная технология >>>