Химия - Пористый кремний - Характеристики

01 марта 2011


Оглавление:
1. Пористый кремний
2. Классификация
3. Характеристики
4. Свойства
5. Применение

Степень пористости

Важнейшей характеристикой пористого кремния, определяющей большинство его физических параметров, является степень пористости или пористость.

Она определяется выражением:

П =

где ρ_Si и ρ_por-Si — плотности монокристаллического и пористого кремния соответственно.

В настоящее время значения пористости могут варьироваться от 5 до 95 %.

Степень пористости образца определяется обычно гравиметрическим методом. Определение пористости этим методом проводится в три этапа:

1. Взвешивание монокристаллической кремниевой пластины;
2. Вытравливание на ней пористого слоя и взвешивание получившегося образца;
3. Удаление пористого слоя путем стравливания его с кремниевой подложки и повторное взвешивание образца.

Погрешность гравиметрического метода при малых толщинах пористого слоя и больших пористостях может достигать 15-20 %. Более того, использование такого контроля степени пористости приводит к разрушению образца, так как пористый слой в процессе измерений с него удаляется.

Просмотров: 9571

<<< Органические полупроводники

Рулонная технология >>>