Химия - Рентгеноспектральный микроанализ

Рентгеноспектральный микроанализ — методика получения данных о элементном составе вещества на образцах малых размеров. Суть методики заключается в том, что исследуемый образец с помощью электронного микрозонда облучается очень узким направленным потоком электронов высокой энергии, внутренняя электронная оболочка атомов облучаемого вещества переходит в возбуждённое состояние и испускает рентгеновское излучение характерного спектра. С помощью данной методики можно исследовать состав образца на глубину ~1 мкм. Минимальные измеряемые концентрации элементов от бора до плутония составляют порядка 100 ppm, а в наиболее современных — до 10 ppm. Зачастую блок рентгеноспектрального микроанализа входит в состав растрового электронного микроскопа.

История

Освоению данного метода предшествовало развитие тесно связанного метода рентгенофлуоресцентного анализа.