Химия - SMIF

15 июля 2011





SMIF, Standard Mechanical InterFace — стандарт SEMI E19-1105 на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств.

История

Технология разработана в 1980-е годы в Hewlett-Packard, Пало-Альто для использования в чистых помещениях. Контейнеры SMIF служат для хранения и транспортировки нескольких полупроводниковых пластин в специальной кассете. Внутри контейнера поддерживается более высокая степень чистоты. Пластины располагаются горизонтально. В нижней части контейнера находится дверца, через которую кассета с пластинами загружается и выгружается из контейнера.

Целью SMIF является дополнительная изоляция пластин для предохранения их от загрязнения. Работа с контейнерами, загрузка и выгрузка пластин из них проводится автоматизированными загрузочными устройствами, являющимися частью технологического оборудования. Таким образом, загрузка пластин не требует операций, проводимых непосредственно человеком. Внутренняя среда внутри контейнера и оборудования не контактирует с внешними потоками воздуха.

Контейнеры имеют идентификационные элементы. Их корпус изготовлен из пластика. Для транспортировки контейнеров могут применяться люди или роботизированные системы

SMIF применяется при работе с пластинами диаметром до 200 мм. Для более крупных пластин применяется стандарт FOUP.

Кроме работы с пластинами, контейнеры могут применяться и для работы с фотолитографическими масками.



Просмотров: 2433


<<< Запорожский титано-магниевый комбинат