Химия - Трихлорсилан

01 марта 2011

Трихлорсилан — кремнийсодержащее неорганическое соединение, при 20 °C и атмосферном давлении бесцветная легколетучая прозрачная жидкость.

Внешний вид и свойства

Прозрачная жидкость с резким запахом, гидролизуется влагой воздуха.

Применение

Трихлорсилан является сырьем для производства поликристаллического кремния, моносилана и дихлорсилана, основного ряда кремнийорганических мономеров. Кроме того, существуют другие области применения трихлорсилана. Например, микроэлектроника, где он используется для эпитаксиального осаждения пленок монокристаллического кремния.

Производство

Мировой рынок трихлорсилана, используемого для производства поликремния, разделен между США, Японией, Германией и Италией. В бывшем СССР мощности по синтезу трихлорсилана были сосредоточены на Украине, поэтому после 1991 года производства трихлорсилана в России не оказалось. Сейчас трихлорсилан производится только на двух российских предприятиях в гг. Усолье-Сибирское и Новочебоксарске и на Украине, в г.Запорожье.

Просмотров: 2063

<<< Трифторид алюминия

Фосфорные кислоты >>>