Химия - Зонное выравнивание

01 марта 2011





Зонное выравнивание — один из методов получения чистых веществ для полупроводниковой промышленности.

Схема устройства для зонного выравнивания очень похожа на таковую для зонной плавки, только в данном случае в правом конце лодочки помещают монокристаллическую затравку и образовывают одну зону плавления непосредственно рядом с затравкой. Перемещая зону плавления влево, можно получить весь слиток германия в виде монокристалла с ориентацией кристаллографических плоскостей, какие имела затравка. Если в расплавленную зону ввести легирующую примесь с коэффициентом распределения K < 1, например In, то при прохождении зоны расплава вдоль всего слитка можно достигнуть равномерного распределения примеси и получить образцы с определенным типом проводимости и с определенной концентрацией подвижных носителей заряда в примесном полупроводнике.

Методом зонного выравнивания можно получить монокристаллы германия с примесью сурьмы, различающиеся удельным сопротивлением менее 10% на половине длины слитка и имеющие малую концентрацию дислокаций.



Просмотров: 1456


<<< Зонная плавка
Ионная имплантация >>>